US 5153440 A, 06.10.1992. SU 326659 A1, 01.01.1972. SU 1514174 A1, 20.02.2000.
Имя заявителя:
Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Ижевский Государственный Технический Университет (RU)
Изобретатели:
Морозов Евгений Александрович (RU) Ефимов Игорь Николаевич (RU)
Патентообладатели:
Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Ижевский Государственный Технический Университет (RU)
Реферат
Изобретение относится к области создания полупроводниковых приборов методом легирования и предназначено для получения направленных потоков (пучков) ионов. Устройство создания ионных потоков состоит из вакуумной камеры с источником ионов и двух электродов, причем источник ионов выполнен в виде резервуара с жидкостью, внутри которого установлен электрод (анод). Электрод и стенки резервуара расположены с некоторым зазором, создающим капиллярное движение потока жидкости из резервуара, второй электрод (катод) выполнен в форме пластины со щелью, расположенной над первым электродом (анодом). Электрод (анод) выполнен в виде пластины - лезвия. Резервуар может быть соединен как с нагревательным элементом, так и с криогенной установкой. Технический результат - повышение мощности автоэмиссионного источника ионов за счет одновременного повышения силы тока и энергии ионов в пучке. 2 з.п. ф-лы, 1 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента