На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента

Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»

Вернуться к списку

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИССЛЕДОВАНИЯ ПОВЕРХНОСТИ ПРОВОДЯЩИХ ОБРАЗЦОВ

Номер публикации патента: 2077091

Вид документа:  C1  Страна публикации:  RU  Рег. номер заявки:  94013423		Получить полное описание патента

Реферат

Использование: изобретение относится к технике измерений и может быть использовано в исследовательских и технологических установках для контроля рельефа поверхности образцов и локального воздействия на них. Сущность изобретения: устройство содержит жесткозакрепленный на цилиндрическом держателе пьезоманипулятор с измерительной иглой, верхняя часть которого через упругий элемент прикреплена к неподвижной опоре, а нижняя - жестко связана с лыжами, установленными на исследуемой поверхности, образуя с ней пару скольжения, а образец закреплен на узле перемещения в виде насаженного на вал диска, и приспособление для подвода образца к измерительной игле. При этом рабочие поверхности пары скольжения выполнены с шероховатостью R_r≅0,05 мкм, а l≅0,1 r_k, где r_k - наибольший линейный размер области касания лых с поверхностью образца, r_k - наименьший из радиусов кривизны поверхности образца. Такая конструкция обеспечивает работоспособность устройства в 4-х режимах, т.е. обладает более широкими функциональными возможностями, позволяя производить измерения и исследования поверхности движущегося образца по всей его поверхности и не ограничивать его размеры. 2 з.п. ф-лы, 2 ил.

Вернуться к списку