|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ |  |
Номер публикации патента: 2091989 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | H05B007/20 C23C014/34 H01J037/305 | | Аналоги изобретения: | 1. Блинов И.Г. и др. Обзоры по электронной технике. - М.: Электротехника, 1974, вып.8/26, с. 40. 2. Аксенов И.И. и др. Формирование потоков металлической плазмы. Обзор. - М.: ЦНИИатоминформ, 1984, с. 53. 3. Авторское свидетельство СССР N 796248, кл. C 23 C 15/00, 1978. |
| Имя заявителя: | Институт сверхтвердых материалов им.В.Н.Бакуля АН Украины (UA) | | Изобретатели: | Еловиков Владимир Петрович[UA]
Лизунов Павел Леонидович[UA] | | Патентообладатели: | Институт сверхтвердых материалов им.В.Н.Бакуля АН Украины (UA) |
Реферат | |
Сущность изобретения: полое изделие размещают в вакуумной камере, инициируют между катодом и анодом вакуумную дугу, включающую прикатодный участок, переходную зону и столб дуги с проходящей по центру дуги зоной проводимости, после инициирования дуги, перемещая анод, дугу размещают внутри изделия, при этом предварительно устанавливают расстояние между катодом и торцем изделия, исходя из условия размещения внутри изделия столба дуги, а переходной зоны за его пределами. На дугу дополнительно воздействуют однородным продольным магнитным полем и устанавливают диаметр зоны проводимости не более диаметра анода. Для реализации способа используют устройство, содержащее вакуумную камеру, соосно размещенные в ней анод и катод, а также подложкодержатель. Устройство дополнительно содержит охватывающую вакуумную камеру, магнитную систему для создания однородного продольного магнитного поля, датчик диаметра зоны проводимости дуги, измерительный генератор, включающий колебательный контур, блок обработки сигнала датчика и регистрирующий прибор. Датчик выполнен в виде катушки индуктивности, установленной соосно с анодом и катодом и входящей в колебательный контур измерительного генератора, который связан с блоком обработки сигнала датчика, связанным с регистрирующим прибором. 2 с. и 4 з.п.ф-лы. 2 ил, 1 табл.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента