|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ИССЛЕДОВАНИЯ ПОВЕРХНОСТИ МИКРООБЪЕКТОВ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО РЕАЛИЗАЦИИ |  |
Номер публикации патента: 2092863 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | G01R027/26 H01J037/285 | | Аналоги изобретения: | Патент Швейцарии N 643397, кл. F 01J 37/285, 1984. |
| Имя заявителя: | Научно-производственное объединение "Форум" | | Изобретатели: | Кислов В.В.
Колесов В.В.
Перевощиков В.А. | | Патентообладатели: | Научно-производственное объединение "Форум" |
Реферат | |
Использование: для исследования поверхностных слоев вещества методами СВЧ и сканирующей туннельной спектроскопии. Сущность изобретения: в промежутке между проводящей иглой и поверхностью микрообъекта создают постоянное электрическое поле, регистрируют постоянный туннельный ток, управляют перемещением проводящей иглы над поверхностью микрообъекта и определяют рельеф поверхности микрообъекта. К промежутку между проводящей иглой и поверхностью микрообъекта дополнительно прикладывают сверхвысокочастотное напряжение одной или нескольких частот, регистрируют сверхвысокочастотную компоненту туннельного тока, а управление перемещением проводящей иглы и определение рельефа поверхности осуществляют по величинам постоянного туннельного тока и сверхвысокочастотной компоненты туннельного тока. Устройство содержит подложку для размещения микрообъекта, проводящую иглу туннельного микроскопа, выполненную с возможностью перемещения над поверхностью микрообъекта и сопряженную с блоком управления туннельным микроскопом. Введены сверхвысокочастотный резонатор, снабженный входной и выходной петлями связи, в котором размещена проводящая игла туннельного микроскопа, последовательно соединенные генератор, однонаправленный элемент и фильтр нижних частот, выход которого соединен с входной петлей связи, спектр-анализатор, вход которого соединен с выходом перестраиваемого фильтра, а выход подключен ко входу блока управления туннельного микроскопа. Боковая поверхность центрального электрода выполнена конической или параболической, или экспоненциальной. 2 с.п. ф-лы, 1 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента