|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ АНАЛИЗА СОСТАВА ДНА УГЛУБЛЕНИЙ |  |
Номер публикации патента: 2123178 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | G01N023/225 H01J037/26 | | Аналоги изобретения: | Kibalov D.S., Smirnov V.K. How to analyze high - aspect ratio pits with the coaxial scanning Auger microprobe - Scanning, 1995, v.17, p.141-143. SU 758846 A, 30.03.82. SU 1409906 A1, 15.07.88. SU 1527548 A1, 07.12.89. SU 1502990 A1, 23.08.89. |
| Имя заявителя: | Закрытое акционерное общество центр "Анализ веществ" | | Изобретатели: | Батраков Г.И.
Кибалов Д.С.
Смирнов В.К. | | Патентообладатели: | Закрытое акционерное общество центр "Анализ веществ" |
Реферат | |
Использование: при элементном анализе несквозных отверстий и канавок, высота которых значительно превышает линейные размеры их дна. Сущность изобретения: участок дна облучают электронным зондом со скомпенсированным дрейфом. Компенсацию проводят генерированным электрическим полем. Регистрируют вторичные электроны, не отраженные от стенок углубления, анализатором типа цилиндрическое зеркало. По оже-спектру вторичных электронов судят о составе дна углубления. Устройство, применяемое для реализации способа, содержит электронную пушку и анализатор типа цилиндрическое зеркало. Между анализатором и анализируемым объектом установлен дефлектор. Устройство дополнительно содержит компьютер с монитором. К входу компьютера подключен детектор вторичных электронов. Выход компьютера соединен с входом блока управления анализатором, первый выход которого соединен с зеркалом, а второй - с входом блока управления дефлектором. Выход блока управления дефлектора соединен с дополнительно установленными в дефлекторе управляющими электродами. 2 с.п. ф-лы, 2 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента