|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СКАНИРУЮЩИЙ ЗОНДОВЫЙ МИКРОСКОП |  |
Номер публикации патента: 2159454 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | G02B021/00 H01J037/28 | | Аналоги изобретения: | REV. SEI. INSTRUM 66(II). - November 1995, p. 5266-5271. DE 4405292 C1, 22.06.1995. EP 0487300 A1, 27.05.1992. SU 974456, 15.11.1982. |
| Имя заявителя: | ЗАО "НТ-МДТ" | | Изобретатели: | Быков В.А.
Беляев А.А.
Медведев Б.К.
Саунин С.А.
Соколов Д.Ю. | | Патентообладатели: | ЗАО "НТ-МДТ" |
Реферат | |
Изобретение относится к нанотехнологическому оборудованию, к устройствам, обеспечивающим наблюдение, измерение и модификацию поверхности объектов в режиме сканирующего туннельного микроскопа (СТМ) или атомно-силового микроскопа (АСМ). Возможно также использование изобретения в устройствах, где необходимо точно поддерживать расстояние между объектами.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента