|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПАНОРАМНОГО ИЗОБРАЖЕНИЯ В РАСТРОВОМ ЭЛЕКТРОННОМ МИКРОСКОПЕ |  |
Номер публикации патента: 2181515 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01J037/26 | | Аналоги изобретения: | ГОУЛДСТЕЙН ДЖ. и др. Практическая растровая электронная микроскопия. - М.: Мир, 1978, с. 15 и 115. Физический энциклопедический словарь. - М.: Советская энциклопедия, 1983, с. 887 и 888. SU 1019520 A, 23.05.1983. SU 210959 A, 08.11.1968. RU 2101800 C1, 10.01.1998. |
| Имя заявителя: | Институт геологии Коми научного центра Уральского отделения РАН | | Изобретатели: | Филиппов В.Н. | | Патентообладатели: | Институт геологии Коми научного центра Уральского отделения РАН |
Реферат | |
Изобретение относится к способам получения изображений в растровой электронной микроскопии. Техническим результатом является расширение возможности растрового электронного микроскопа, получение панорамного изображения объектов, находящихся вне зоны прямого взаимодействия с электронным пучком растрового электронного микроскопа. Суть изобретения состоит в использовании изменения траектории электронного пучка микроскопа путем формирования эффекта электронного зеркала у поверхности образца, расположенного под электронным пучком микроскопа, при воздействии на него электронным пучком при ускоряющем напряжении 20 кВ с последующим снижением ускоряющего напряжения до 1-10 кВ. 2 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента