Промышленная Сибирь Ярмарка Сибири Промышленность СФО Электронные торги НОУ-ХАУ Электронные магазины Карта сайта
 
Ника
Ника
 

Поиск патентов

Как искать?
Реферат
Название
Публикация
Регистрационный номер
Имя заявителя
Имя изобретателя
Имя патентообладателя

    





Оформить заказ и задать интересующие Вас вопросы Вы можете напрямую c 6-00 до 14-30 по московскому времени кроме сб, вс. whatsapp 8-950-950-9888

На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента

Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»


УСОВЕРШЕНСТВОВАНИЕ ПРОЦЕССА УДАЛЕНИЯ РЕЗИСТА В УСТАНОВКЕ ДЛЯ ТРАВЛЕНИЯ ДИЭЛЕКТРИКА С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ ПУЧКА ПЛАЗМЫ

Номер публикации патента: 2279732

Вид документа: C1 
Страна публикации: RU 
Рег. номер заявки: 2002126255/28 
  Сделать заказПолучить полное описание патента

Редакция МПК: 
Основные коды МПК: H01J037/305   H01L021/3065    
Аналоги изобретения: WO 9940609 A1, 12.08.1999. US 5534751 A1, 09.07.1996. US 6026762 A1, 22.02.2000. WO 9704476 A3, 06.02.1997. SU 1702825 A1, 28.02.1994. RU 2131631 С1, 10.06.1999. 

Имя заявителя: ЛАМ РИСЁРЧ КОРПОРЕЙШН (US) 
Изобретатели: МАРКС Джеффри (US) 
Патентообладатели: ЛАМ РИСЁРЧ КОРПОРЕЙШН (US) 

Реферат


Изобретение относится к области изготовления полупроводниковых приборов. Объектами изобретения являются способ и устройство для травления диэлектрика, удаления маски для травления и очистки камеры травления. В камере травления 40 размещают полупроводниковую пластину 56. Выполненный на полупроводниковой пластине диэлектрик 58 подвергают травлению, используя локальную плазму, полученную с помощью специального приспособления для получения локальной плазмы в камере травления.


Дирекция сайта "Промышленная Сибирь"
Россия, г.Омск, ул.Учебная, 199-Б, к.408А
Сайт открыт 01.11.2000
© 2000-2018 Промышленная Сибирь
Разработка дизайна сайта:
Дизайн-студия "RayStudio"