|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| ФОКУСАТОР ГАЗОРАЗРЯДНОЙ ПЛАЗМЫ |  |
Номер публикации патента: 2339191 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H05H001/24 H01J037/077 | | Аналоги изобретения: | RU 2241278 С1, 27.11.2004. RU 2231164 С1, 20.06.2004. US 3831052 А, 20.08.1974. US 5003178 A, 26.03.1991. |
| Имя заявителя: | Институт систем обработки изображений Российской академии наук (ИСОИ РАН) (RU) | | Изобретатели: | Сойфер Виктор Александрович (RU)
Казанский Николай Львович (RU)
Колпаков Всеволод Анатольевич (RU)
Колпаков Анатолий Иванович (RU) | | Патентообладатели: | Институт систем обработки изображений Российской академии наук (ИСОИ РАН) (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано при производстве интегральных микросхем на активных и пассивных подложках и элементов дифракционной оптики на криволинейных поверхностях. Фокусатор газоразрядной плазмы содержит катод, сетчатый анод, изоляцию и высоковольтный ввод. Катод и сетчатый анод выполнены с кривизной, равной кривизне поверхности обрабатываемого изделия, и располагаются от него на расстоянии 1550, где - длина свободного пробега электрона в потоке
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента