US 5925886 A, 20.07.1999. ЕР 1288329 А, 05.03.2003. US 5625195 A, 29.04.1997. WO 0026431 A, 11.05.2000. RU 2058428 C1, 20.04.1996. RU 2046840 C1, 27.10.1995.
Изобретение относится к устройству имплантации ионов азота в деталь (5) из алюминиевого сплава и способу обработки алюминиевого сплава и может найти применение в области обработки пластмасс при изготовлении пресс-форм из алюминиевого сплава. Устройство содержит источник (6) ионов, поставляющий ионы азота, ускоряемые вытягивающим напряжением, и первые средства (7-11) регулировки начальным пучком (f1') ионов, испускаемых упомянутым источником (6), с формированием имплантирующего пучка (f1). Источник (6) является источником на основе электронного циклотронного резонанса, производящим начальный пучок (f1') полиэнергетических ионов, которые имплантируются в деталь (5) при температуре менее 120°С. Имплантацию этих полиэнергетических ионов имплантирующего пучка (f1), регулируемого посредством упомянутых средств (7-11) управления, осуществляют одновременно на глубину, регулируемую вытягивающим напряжением источника, позволяет улучшить механические свойства детали. 3 н. и 13 з.п. ф-лы, 3 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента