RU 2173911 C2, 20.09.2001. SU 1077334 A1, 27.12.1995. RU 2285742 C2, 20.10.2006. JP 6008468 A, 28.12.1999. JP 2002074321 A1, 20.06.2002. US 4036171 A, 19.07.1977. US 2003000930 A1, 02.01.2003.
Имя заявителя:
Российская академия наук Учреждение Российской академии наук Институт машиноведения им А.А. Благонравова Российской академии наук (ИМАШ РАН) (RU)
Изобретатели:
Воронин Николай Алексеевич (RU) Козиков Александр Сергеевич (RU)
Патентообладатели:
Российская академия наук Учреждение Российской академии наук Институт машиноведения им А.А. Благонравова Российской академии наук (ИМАШ РАН) (RU)
Реферат
Изобретение относится к способу и устройству получения поверхностей трения с газодинамическими канавками и может найти использование в машиностроении при производстве колец бесконтактных торцовых уплотнений перекачивающих компрессоров, упорных подпятников и подшипников, работающих на газовой смазке. Способ включает ионно-плазменное травление поверхности через окна в шаблонной маске, которую предварительно накладывают на обрабатываемую поверхность. На поверхности шаблонной маски размещают экранирующую маску с окнами. В процессе травления окна шаблонной маски периодически перекрывают краями окон экранирующей маски путем перемещения экранирующей маски против или по часовой стрелке на угол, кратный шагу размещения газодинамических канавок на поверхности трения. Затем перемещают обе маски в одном направлении на угол, соответствующий угловому шагу размещения газодинамических канавок на поверхности трения, и осуществляют повторное ионно-плазменное травление. В устройстве предусмотрен механизм перемещения экранирующей маски относительно шаблонной маски. Очертания окон экранирующей маски выполнены с различным радиусом кривизны. Механизм перемещения экранирующей маски выполнен с возможностью задания ей возвратно- качательного движения на вышеупомянутый угол. В результате получают канавки с наклонным дном по ширине канавки в тангенциальном направлении и канавки с наклонным дном по ширине канавки в тангенциальном и радиальном направлениях. 2 н.п. ф-лы, 18 ил.