Промышленная Сибирь Ярмарка Сибири Промышленность СФО Электронные торги НОУ-ХАУ Электронные магазины Карта сайта
 
Ника
Ника
 

Поиск патентов

Как искать?
Реферат
Название
Публикация
Регистрационный номер
Имя заявителя
Имя изобретателя
Имя патентообладателя

    





Оформить заказ и задать интересующие Вас вопросы Вы можете напрямую c 6-00 до 14-30 по московскому времени кроме сб, вс. whatsapp 8-950-950-9888

На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента

Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»


СПОСОБ ЭЛЕКТРОННОЙ ЛИТОГРАФИИ

Номер публикации патента: 2462784

Вид документа: C1 
Страна публикации: RU 
Рег. номер заявки: 2011112352/07 
  Сделать заказПолучить полное описание патента

Редакция МПК: 
Основные коды МПК: H01J037/073    
Аналоги изобретения: US 4954717 A, 04.09.1990. RU 2334261 C1, 20.08.2008. RU 2183040 C1, 27.05.2002. US 2011003279 A1, 06.01.2011. EP 1617290 A, 18.01.2006. 

Имя заявителя: Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" (RU) 
Изобретатели: Марголин Владимир Игоревич (RU)
Мамыкин Александр Иванович (RU)
Потехин Максим Сергеевич (RU)
Тупик Виктор Анатольевич (RU)
Шелудько Виктор Николаевич (RU) 
Патентообладатели: Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" (RU) 

Реферат


Способ электронной литографии относится к способам нанесения рисунков в технологии изготовления полупроводниковых устройств. Способ реализуется путем переноса изображения с катода-маски электронами вторичной электронной эмиссии на резист, подложка которого соединена с анодом. Особенностью является то, что технологическую камеру заполняют рабочим газом, в прикатодной области создают тлеющий разряд за счет использования дополнительного электрода, электрически соединенного с анодом. При этом катод-маску выполняют из материалов с разными коэффициентами вторичной ионно-электронной эмиссии. Параметры тлеющего разряда выбирают из условия существования вторичной ионно-электронной эмиссии с обоих материалов катода-маски. Технический результат - повышение срока службы катода-маски. 1 з.п. ф-лы, 4 ил.

Дирекция сайта "Промышленная Сибирь"
Россия, г.Омск, ул.Учебная, 199-Б, к.408А
Сайт открыт 01.11.2000
© 2000-2018 Промышленная Сибирь
Разработка дизайна сайта:
Дизайн-студия "RayStudio"