RU 2296387 C1, 27.03.2007. SU 1531181 A1, 23.12.1989. RU 2054740 C1, 20.02.1996. RU 2218629 C2, 10.12.2003. EP 0487300 A1, 27.05.1992. US 5465308 A, 07.11.1995.
Имя заявителя:
Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ижевский государственный технический университет имени М.Т. Калашникова" (RU)
Изобретатели:
Шелковников Евгений Юрьевич (RU) Тюриков Александр Васильевич (RU) Гуляев Павел Валентинович (RU) Осипов Николай Иванович (RU) Кизнерцев Станислав Рафаилович (RU) Гафаров Марат Ренатович (RU) Суворов Александр Сергеевич (RU) Тарасов Михаил Владимирович (RU)
Патентообладатели:
Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ижевский государственный технический университет имени М.Т. Калашникова" (RU)
Реферат
Изобретение относится к области приборостроения. Технический результат заключается в расширении функциональных возможностей за счет автоматического обнаружения и распознавания СТМ-изображений нанообъектов с повышенной надежностью, обеспечиваемой использованием двух методов распознавания (аппарата нейронных сетей и нечеткой логики), а также посредством уменьшения шумов на СТМ-изображениях и приостановки измерений на периоды времени с повышенным виброакустическим фоном (путем введения системы активной виброзащиты). Указанный результат достигается тем, что в сканирующем туннельном микроскопе, содержащем острие, съемный точный пьезопривод острия по осям X, Y, Z, держатель образца с шаговым пьезоприводом его сближения с острием, блок измерения туннельного тока, блок регистрации топографии исследуемой поверхности с управляющим вычислителем, блок компенсации пульсаций напряжения, высоковольтные усилители напряжения по осям X, Y, Z, коммутатор, блок адаптивного управления, цифроаналоговый преобразователь термокомпенсации, фильтр низких частот, сумматор, цифро-аналоговый преобразователь точного управления туннельным промежутком, а также два цифроаналоговых преобразователя управления X, Y-электродами внешней пьезотрубки съемного точного пьезопривода, введены блок автоматического обнаружения и распознавания наночастиц, соединенный через шину данных с блоком регистрации топографии исследуемой поверхности, управляющим вычислителем и блоком адаптивного управления, а также система активной виброзащиты, содержащая магнит, магнитопровод, подвижную катушку, датчик ускорения, упругую мембрану, усилитель сигналов виброзащиты, вход которого соединен с датчиком ускорения, а выход - с входом аналого-цифрового преобразователя, выход которого подключен к одному из входов сигнального процессора, соответствующий выход которого через цифроаналоговый преобразователь и усилитель подсоединен к подвижной катушке системы активной виброзащиты. 2 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента