На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента

Вернуться к списку

ЭЛЕКТРОННО - ЛУЧЕВАЯ УСТАНОВКА

Номер публикации патента: 94037125

Вид документа:  A1  Страна публикации:  RU  Рег. номер заявки:  94037125

Реферат

Изобретение относится к области электронно-лучевой технологии и может найти применение в любой электронно-лучевой установке (плавильной, сварочной, напылительной и т.п.), технологическая камера которой снабжена системой вакуумной откачки. Установка содержит откачиваемую технологическую камеру и электронную пушку, разделенные отверстием для транспортировки электронного луча, а также систему напуска рабочего газа. Новым в установке является то, что выходное устройство системы напуска рабочего газа (отверстие, сопло, решетка и т.п.) расположено со стороны пушки в пространстве перед отверстием для транспортировки электронного луча, давление рабочего газа в этом пространстве не менее, чем в 2,5 раза превышает давление в технологической камере, а размеры отверстия для транспортировки электронного луча удовлетворяют условию К_n < 0,3, где К_n-критерий Кнудсена, причем в качестве рабочего газа выбран легкий газ с атомной массой не более 30. Изобретение позволяет повысить надеждость работы установки, особенно в условиях пикового газоотделения и наличия реакционных газов и паров в технологической камере.

Вернуться к списку