|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| АНАЛИЗАТОР ЭНЕРГИЙ ОТРАЖЕННЫХ ЭЛЕКТРОНОВ ДЛЯ РАСТРОВОГО ЭЛЕКТРОННОГО МИКРОСКОПА |  |
Номер публикации патента: 2055414 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01J049/48 | | Аналоги изобретения: | Аристов В.В., Дремова Н.Н. и др. Наблюдение объемных микронеоднородностей с помощью растрового электронного микроскопа, ДАНСССР, 1988, т.301, с.611 - 613, с.3. |
| Имя заявителя: | Лихарев Сергей Константинович,Крамаренко Алексей Сергеевич | | Изобретатели: | Лихарев Сергей Константинович
Крамаренко Алексей Сергеевич | | Патентообладатели: | Лихарев Сергей Константинович
Крамаренко Алексей Сергеевич |
Реферат | |
Использование: изобретение относится к растровой электронной микроскопии (РЭМ) и предназначено для получения изображений отдельных тонких глубинных слоев исследуемого объекта в режиме регистрации отраженных электронов (ОЭ). Целью изобретения является создание компактного и практичного анализатора энергий ООЭ, располагаемого в непосредственной близости от первичного пучка РЭМ и использующего при своей работе относительно низкие анализирующие напряжения и пригодного таким образом для визуализации о
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента