На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКИЙ АНАЛИЗАТОР ЭНЕРГИИ ЗАРЯЖЕННЫХ ЧАСТИЦ | |
Номер публикации патента: 2086037 | |
Редакция МПК: | 6 | Основные коды МПК: | H01J049/44 | Аналоги изобретения: | 1. Авторское свидетельство СССР N 795308, кл. H 01 J 49/44, 1979. 2. Цилиндрический ОЖЕ-анализатор, модель 25110. Инструкция по эксплуатации фирмы "RHI", 1978. |
Имя заявителя: | Научно-исследовательский технологический институт | Изобретатели: | Якушев Г.А. | Патентообладатели: | Научно-исследовательский технологический институт |
Реферат | |
Изобретение относится к устройствам для энергетического анализа заряженных частиц и может быть использовано для физико-технического анализа поверхности твердого тела, например, в качестве узла оже-спектрометра. Сущность изобретения: электростатический анализатор энергий заряженных частиц снабжен дополнительным фланцем 17, на котором размещены источник ионизирующего излучения 9, выходная диафрагма 12 и коллектор вторичных электронов 14 и образующим с ними единый функциональный легко-съемный узел. Дополнительный фланец 17 установлен на съемном фланце 19 и подпружинен относительно него посредством пружин 25 в направлении к размещенным на нем элементам, что обеспечивает возможность перемещения дополнительного фланца 17 в плоскости, перпендикулярной электронно-оптической оси 0 анализатора, в направлении оси 0 и наклона относительно оси 0. В результате облегчается осмотр, регулирование и замена деталей источника 9, диафрагмы 12 и коллектора 14 и повышается точность их установки относительно оси 0. 2 ил.
|