|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПРИБОРОВ С ЗАРЯДОВОЙ СВЯЗЬЮ |  |
Номер публикации патента: 1766207 |  |
| Редакция МПК: | 5 | | Основные коды МПК: | H01L021/265 | | Аналоги изобретения: | J.Hynecek, Design and Performanci of High-Resolution Lomage Sensor for Color TV Applications IEEE Trans in electr. Dew., V.ED-32, N 8,Augyst 1985, p.1421. |
| Имя заявителя: | Научно-исследовательский институт "Пульсар" | | Изобретатели: | Скрылев А.С.
Фрост Н.И.
Карасев А.О.
Шилин В.А.
Пугачев А.А. | | Патентообладатели: | Научно-исследовательский институт "Пульсар" |
Реферат | |
Использование: технология изготовления полупроводниковых приборов и интегральных схем. Сущность: в способе изготовления прибора с зарядовой связью с виртуальной фазой создают стоп-каналы и скрытый канал ионным легированием, затем наносят подзатворный диэлектрик, проводящие слои и слои фоторезиста, вскрывают окна над областью виртуальной фазы, после нанесения фоторезиста вскрывают окна над областью с максимальным уровнем легирования, и последующее ионное легирование в окна проводят с энергией, равной энергии создания скрытого канала с соотношением фаз, обратно пропорциональным отношению площадей тактового электрода и виртуальной фазы. 7 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента