|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| ПЛАЗМООБРАЗУЮЩАЯ СМЕСЬ ДЛЯ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКИ РАЗВОДКИ АЛЮМИНИЯ И ЕГО СПЛАВОВ ПРИ ИЗГОТОВЛЕНИИ СБИС |  |
Номер публикации патента: 1814435 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | H01L021/28 | | Аналоги изобретения: | Патент США N 4592800, кл. C 23 F 1/02, опублик. 1986. Патент Японии N 59-210644, кл. H 01 L 21/302, опублик. 1984. Авторское свидетельство СССР N 1556449, кл. H 01 L 21/306, 1988. |
| Имя заявителя: | Научно-производственное объединение "Интеграл" | | Изобретатели: | Родин Г.Ф.
Турцевич А.С.
Цыбулько И.А.
Корешков Г.А.
Сасновский |
Реферат | |
Использование: изобретение относится к области микроэлектроники и может быть использовано для плазмохимической обработки разводки алюминия и его сплавов при изготовлении интегральных микросхем. Сущность: в плазмообразующую смесь для плазмохимической обработки разводки алюминия и его сплавов при изготовлении СБИС, включающую гексафторид серы и азот, дополнительно вводят кислород и при следующем соотношении компонентов, об.%: кислород - 45-55, гексафторид серы - 15-25, азот - остальное. 1 табл.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента