|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЧУВСТВИТЕЛЬНОГО ЭЛЕМЕНТА ПОЛУПРОВОДНИКОВОГО ГАЗОВОГО СЕНСОРА |  |
Номер публикации патента: 1829751 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | H01L021/02 | | Аналоги изобретения: | Авторское свидетельство СССР N 1566902, кл. G 01 N 27/12, 1988. Rolfe C. Anderson et al. Investigations of Porous Silicon feor Vapour Sensing. Abstr. 5th Int. Conf7 on Solid-State sens. and Actuat. 8 c Eurosensors ill (TRANSDUCERS'89) June 25-30, 1989, Montreaux Switrerland, c. 14.4, p. 241-242. |
| Имя заявителя: | Институт микроэлектроники АН СССР | | Изобретатели: | Чистяков В.В.
Палашов В.Н.
Мокроусов Н.Е.
Винке А |
Реферат | |
Использование: изготовление чувствительного элемента полупроводникового газового сенсора на основе пористого кремния. Сущность изобретения: при изготовлении чувствительного элемента на высокоомной кремниевой подложке с р-типом проводимости формируют пористый слой обработкой в НF-содержащем электролите, пористый слой промывают в кипящей деионизованной воде, сушат, проводят сухое травление в плазме высокочастотного разряда в газовой среде с парциальным давлением компонента (Па): фреон-14 40-42; кислород 21-25; аргон 1-5, при плотности мощности разряда 0,05-0,5 Вт/см3 в течение 1,5-15,0 мин, и затем через контактную маску наносят металл. Способ позволяет увеличить чувствительность элемента. 1 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента