|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| РЕАКТОР ДЛЯ ПЛАЗМЕННОГО ОСАЖДЕНИЯ |  |
Номер публикации патента: 2008741 |  |
| Имя заявителя: | Клыков Виктор Иванович,Ваверс Вия Яновна,Гаврилкина Енафа Феоктистовна,Стасюк Игорь Олегович | | Изобретатели: | Клыков В.И.
Ваверс В.Я.
Гаврилкина Е.Ф.
Стасюк И.О. | | Патентообладатели: | Клыков Виктор Иванович
Ваверс Вия Яновна
Гаврилкина Енафа Феоктистовна
Стасюк Игорь Олегович |
Реферат | |
Использование: изобретение относится к плазменной технике и может быть использовано для плазменного осаждения материалов в микроэлектронике. Сущность изобретения: редактор содержит корпус в виде трубы, на одном конце которого размещен патрубок для откачки реактора, а на другом - герметизирующая крышка.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента