|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ФОТОРЕЗИСТА ВРАЩЕНИЕМ |  |
Номер публикации патента: 2012093 |  |
| Имя заявителя: | Воронежский опытный завод микроэлектроники "Риф" | | Изобретатели: | Иванов А.С.
Валентинов М.М.
Недоспасов В.Г.
Панов В.Д. | | Патентообладатели: | Воронежский опытный завод микроэлектроники "Риф" |
Реферат | |
Применение: изобретение относится к микроэлектронике. Сущность изобретения: устройство содержит центрифугу с приводом вращения, держатель для размещения пластин, резервуар с фоторезистом, установленный на валу центрифуги. Резервуар снабжен шлюзовой камерой, выполненной в виде концентрично установленного на общем основании полого кольца, имеющего на внутренней стенке сквозные каналы.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента