На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента

Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»

Вернуться к списку

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ С МНОГОУРОВНЕВОЙ РАЗВОДКОЙ

Номер публикации патента: 2012096

Вид документа:  C1  Страна публикации:  RU  Рег. номер заявки:  5035534/25		Получить полное описание патента

Реферат

Использование: в технологии изготовления интегральных схем, способ позволяет улучшить планаризацию поверхности и устранить высокотемпературные обработки. Сущность изобретения: способ включает формирование на полупроводниковой подложке элементов ИС и шин нижнего уровня разводки, нанесение межуровнего диэлектрика, пиролитическое осаждение слоя поликристаллического кремния или нитрида кремния, его анизотропное удаление в плазме до вскрытия межуровнего диэлектрика.

Вернуться к списку