|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| УСТРОЙСТВО ОСАЖДЕНИЯ СЛОЕВ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ |  |
Номер публикации патента: 2014670 |  |
| Имя заявителя: | Научно-исследовательский институт точного машиностроения | | Изобретатели: | Баранов В.Н.
Волков Н.С.
Сигалов Э.Б.
Коротков М.Л.
Любушкин А.И.
Марков Е.В.
Фрыгин Г.Л.
Верещака А.П.
Овечкин А.А.
Савин И.И. | | Патентообладатели: | Научно-исследовательский институт точного машиностроения |
Реферат | |
Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано в технологии производства полупроводниковых приборов и ИС. Сущность изобретения: устройство содержит реакционный блок, включающий кварцевый реактор с излучателем, корпус с подложкодержателем, перегрузочную камеру, включающую механизм перегрузки и шлюзовую камеру с уплотняющей крышкой, герметичный кожух, охлаждаемый экран, установленный с возможностью перемещения.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента