|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| УСТАНОВКА ЛЕГИРОВАНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВ В КОРОННОМ РАЗРЯДЕ |  |
Номер публикации патента: 2017264 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01L021/225 | | Аналоги изобретения: | 1. Блинов И.Т.Кожитов П.В. Оборудование полупроводникового производства. М.: "Машиностроение", 1986, с.152. |
| Имя заявителя: | Концерн "Зейф" | | Изобретатели: | Кремнев А.А. | | Патентообладатели: | Концерн "Зейф" |
Реферат | |
Использование: изобретение может быть использовано при изготовлении полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. Сущность изобретения: установка содержит негерметичную камеру, один из электродов выполнен в виде тонкой проволоки или заостренной проволоки, а нагревательная система расположена по периметру камеры.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента