|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ БИС НА ОСНОВЕ ВЕНТИЛЬНЫХ МАТРИЦ |  |
Номер публикации патента: 2017266 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01L021/28 | | Аналоги изобретения: | Патент США N 4385947, кл. H 01L 21/225, 1983. Технология СБИС. Под ред. С.Зи. М.: Мир, 1986, т.2 с.240-241. |
| Имя заявителя: | Научно-исследовательский институт электронной техники | | Изобретатели: | Мещеряков Н.Я.
Цыбин С.А. | | Патентообладатели: | Научно-исследовательский институт электронной техники |
Реферат | |
Использование: для создания КМОП БИС на основе вентильных матриц с поликремниевыми затворами, легированными примесью n-типа. Сущность: на кремниевой подложке создают полевые поликремниевые слои и активные области двух типов проводимости, осаждают пиролитические слои оксида кремния и фосфоро-силикатного стекла.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента