|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| УСТРОЙСТВО ДЛЯ ХИМИЧЕСКОГО РАЗДЕЛЕНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН НА КРИСТАЛЛЫ |  |
Номер публикации патента: 2022406 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01L021/78 | | Аналоги изобретения: | 1. Брук В.А. и др. Производство полупроводниковых приборов. М.: Высшая школа, 1973, с.122-123. |
| Имя заявителя: | Производственное объединение "ТОР" | | Изобретатели: | Гринчевская В.И.
Чертков Ю.З. | | Патентообладатели: | Производственное объединение "ТОР" |
Реферат | |
Использование: в производстве полупроводниковых приборов, в частности в устройствах для разделения полупроводниковых пластин на кристаллы. Сущность изобретения: устройство содержит рабочую емкость для травления в двух средах, выполненную в виде двух коаксиальных цилиндров, торцы которых соединены конусом с углом наклона стенок не более 60°.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента