|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ БИС С ДВУХУРОВНЕВОЙ МЕТАЛЛИЗАЦИЕЙ |  |
Номер публикации патента: 2022407 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01L021/82 | | Аналоги изобретения: | 1. Заявка Японии N 61-245540, кл. H 01L 21/316, 21/88, 1986. |
| Имя заявителя: | Научно-исследовательский институт электронной техники | | Изобретатели: | Красножон А.И.
Фролов В.В.
Хворов Л.И. | | Патентообладатели: | Научно-исследовательский институт электронной техники |
Реферат | |
Использование: изобретение относится к микроэлектронике, в частности к изготовлению больших интегральных схем с двухуровневой металлизацией. Сущность изобретения: способ включает формирование МДП-структур, защищенных диэлектрическим слоем, формирование металлизации, удаление фоторезистивных масок, создание межуровневого диэлектрика, формирование контактных окон, нанесение пассивации.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента