|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ДВУХУРОВНЕВОЙ МЕТАЛЛИЗАЦИИ |  |
Номер публикации патента: 2025825 |  |
| Редакция МПК: | 5 | | Основные коды МПК: | H01L021/28 | | Аналоги изобретения: | 1. Описание к заявке Японии N 61-232630, кл. H 01L 21/88, 21/30, 21/94, опубл.16.10.86. |
| Имя заявителя: | Научно-исследовательский институт электронной техники | | Изобретатели: | Медведев Н.М.
Хворов Л.И. | | Патентообладатели: | Научно-исследовательский институт электронной техники |
Реферат | |
Использование: изобретение относится к микроэлектронике. Сущность изобретения: способ включает формирование активных элементов структур с первым уровнем металлизации, нанесение межуровневого диэлектрика, травление контактных окон, формирование второго уровня металлизации, при этом на первый уровень наносят слой двуокиси кремния при низкой температуре и пониженном давлении. Затем наносят фоторезист и формируют в нем контактные окна, проводят анизотропное травление по всей поверхности с одинаковыми скоростями. 5 ил. 1 табл.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента