|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ РЕКРИСТАЛЛИЗАЦИИ ПЛЕНОК ТУГОПЛАВКИХ ОКСИДОВ |  |
Номер публикации патента: 2032961 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01L021/324 | | Аналоги изобретения: | 1. J.W. Lee et al/J.Appl. Phys. - 1988, v.64, n 11, p.6502-6504. |
| Имя заявителя: | Инженерный центр "Плазмодинамика" | | Изобретатели: | Князев И.В.
Павлов Г.Я.
Выборнова Л.Н. | | Патентообладатели: | Инженерный центр "Плазмодинамика" |
Реферат | |
Использование: в технологии изготовления изоляционных, буферных и ориентирующих слоев на кремнии, сапфире, алюминии и др. Сущность изобретения: способ включает воздействие на подложку с пленкой потоком низкотемпературной плазмы атмосферного давления, причем мощность, расход газа и длительность нахождения подложки с пленкой в зоне потока выбирают исходя из заданных соотношений.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента