|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ БОЛЬШИХ ИНТЕГРАЛЬНЫХ КМОП - СХЕМ |  |
Номер публикации патента: 2046454 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01L021/82 | | Аналоги изобретения: | 1. Интегральные схемы на МДП-приборах. /Под ред. Кармазинского. М.: Мир, 1975, с.193, 194. |
| Имя заявителя: | Научно-исследовательский институт электронной техники | | Изобретатели: | Мещеряков Н.Я.
Сухоруков Н.И. | | Патентообладатели: | Научно-исследовательский институт электронной техники |
Реферат | |
Использование: в микроэлектронике при изготовлении больших интегральных КМОП-схем. Сущность изобретения: способ изготовления больших интегральных КМОП-схем включает легирование примесью первого типа проводимости полевых областей обоих типов проводимости, создание предварительного оксида кремния толщиной, не превышающей более чем в 1,5 раза толщину слоя нитрида кремния, а после создания второй фоторезистивной маски травление предварительного оксида кремния на полевых областях второго типа проводим
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента