На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
ДИФФУЗАНТ ДЛЯ ЛЕГИРОВАНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВ ТИПА A | |
Номер публикации патента: 2050031 | |
Редакция МПК: | 7 | Основные коды МПК: | H01L021/225 | Аналоги изобретения: | 1. G.J.Van Gurp "Zinc diffusion in InGaAsP." GaAs and Related Com nounds", 1987, p.509-512. |
Имя заявителя: | Физико-технический институт им.А.Ф.Иоффе РАН | Изобретатели: | Бусыгина Л.А. Гореленок А.Т. Каманин А.В. Мокина И.А. Юрре Т.А. Якименко И.Ю. Шмидт Н.М. | Патентообладатели: | Физико-технический институт им.А.Ф.Иоффе РАН |
Реферат | |
Использование: в микроэлектронике, в частности в производстве полупроводниковых приборов на основе A3B5. Сущность изобретения: диффузант для легирования полупроводников A3B5 содержит в качестве пленкообразующей основы 2-5 об.-ный водный раствор поливинилового спирта и легирующую добавку в количестве 1-10 об.
|