Промышленная Сибирь Ярмарка Сибири Промышленность СФО Электронные торги НОУ-ХАУ Электронные магазины Карта сайта
 
Ника
Ника
 

Поиск патентов

Как искать?
Реферат
Название
Публикация
Регистрационный номер
Имя заявителя
Имя изобретателя
Имя патентообладателя

    





Оформить заказ и задать интересующие Вас вопросы Вы можете напрямую c 6-00 до 14-30 по московскому времени кроме сб, вс. whatsapp 8-950-950-9888

На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента

Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»


СПОСОБ ИОННО - ПЛАЗМЕННОЙ ОБРАБОТКИ

Номер публикации патента: 2053583

Вид документа: C1 
Страна публикации: RU 
Рег. номер заявки: 4947211/25 
  Сделать заказПолучить полное описание патента

Редакция МПК: 
Основные коды МПК: H01L021/26    
Аналоги изобретения: 1. Заявка Японии N 59-129425, кл. H 01L 21/26, 1984. 2. Патент США N 4659449, кл. C 23F 1/02, 1987. 

Имя заявителя: Проектно-технологическое предприятие "Интра" (UA) 
Изобретатели: Семенюк Валерий Федорович[UA] 
Патентообладатели: Проектно-технологическое предприятие "Интра" (UA) 

Реферат


Использование: в электронной технике для прецизионного травления и осаждения материалов. Сущность изобретения: способ включает воздействие на обрабатываемое изделие химически активных нейтральных и заряженных частиц, инерцию которых осуществляют в физически разделенных пространствах. В пространстве генерации химически активных нейтральных частиц возбуждают электронную плазменную волну с частотой в области нижнегибридного резонанса и с продольной по отношению к магнитному полю фазовой скоростью, н


Дирекция сайта "Промышленная Сибирь"
Россия, г.Омск, ул.Учебная, 199-Б, к.408А
Сайт открыт 01.11.2000
© 2000-2018 Промышленная Сибирь
Разработка дизайна сайта:
Дизайн-студия "RayStudio"