|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ОСАЖДЕНИЯ ЛЕГИРОВАННЫХ ПЛЕНОК ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ОБКЛАДОК НАКОПИТЕЛЬНОГО КОНДЕНСАТОРА |  |
Номер публикации патента: 2075134 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | H01L021/205 | | Аналоги изобретения: | 1. Патент Великобритании N 2130009, кл. H 01 L 21/28, 1984. |
| Имя заявителя: | Научно-производственное объединение "Интеграл" (BY) | | Изобретатели: | Калошкин Эдуард Петрович[BY]
Турцевич Аркадий Степанович[BY]
Красницкий Василий Яковлевич[BY]
Лесникова Валентина Павловна[BY]
Довнар Николай Александрович[BY]
Смаль Игорь Вацлавович[BY] | | Патентообладатели: | Конструкторско-технологическое бюро "Белмикросхема" Научно-производственного объединения "Интеграл" (BY) |
Реферат | |
Использование: в микроэлектронике, в частности способах создания накопительных конденсаторов УБИС ДЗУПВ. Сущность изобретения: способ предусматривает осаждение легированных пленок поликристаллического кремния с нанесением островкового подслоя толщиной 2-9,5 нм с последующим его отжигом в смеси гексафторида вольфрама с инертным газом /соотношение (1:5):(1:50)/ при 250-300 oC и давлении 15-100 Па в течение 0,5-2 мин. 2 ил., 1 табл.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента