|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЗАКРЕПЛЕНИЯ ПОДЛОЖЕК В ВАКУУМНЫХ УСТАНОВКАХ |  |
Номер публикации патента: 2075136 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | H01L021/68 C23C014/50 | | Аналоги изобретения: | Авторское свидетельство СССР № 316762, кл. С 23 С 14/24, 1969. |
| Имя заявителя: | Василенко Николай Васильевич | | Изобретатели: | Василенко Николай Васильевич
Ивашов Евгений Николаевич
Оринчев Сергей Михайлович
Степанчиков Сергей Валентинович | | Патентообладатели: | Василенко Николай Васильевич
Ивашов Евгений Николаевич
Оринчев Сергей Михайлович
Степанчиков Сергей Валентино |
Реферат | |
Изобретение относится к области электронной техники, а более конкретно к устройствам для закрепления подложек, работающим в экологически чистых средах и вакууме. В основу изобретения положена задача повышения надежности закрепления подложек при обеспечении возможности изменения их ориентации в пространстве. Сущность изобретения: каждые штыри выполнены в виде 3-х винтов, установленных в резьбовых отверстиях основания, на концах штырей, на шаровых шарнирах жестко закреплены цилиндрические диски, выполненные из электретных материалов, с возможностью контактного взаимодействия с подложкодержателем. 2 ил. ,05035572,0569,RU,02075157,C1, 6H 05B 3/60 A,0,Aт
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента