|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ОБРАБОТКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВОГО МАТЕРИАЛА |  |
Номер публикации патента: 2094904 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | H01L021/324 | | Аналоги изобретения: | Авторское свидетельство СССР N 743489, кл. H 01 L 21/324, 1976. DE, патент, 1283814, кл. 12 i 33/02, 1965. |
| Имя заявителя: | Глазов Василий Михайлович | | Изобретатели: | Глазов Василий Михайлович
Тимошина Галина Георгиевна
Кольцов Владимир Борисович
Таран Юрий Николаевич
Фалькевич Эдуард Семенович
Куцова Валентина Зиновьевна
Узлов Константин Иванович
Зубков Алексей Михайлович | | Патентообладатели: | Глазов Василий Михайлович
Тимошина Галина Георгиевна
Кольцов Владимир Борисович
Таран Юрий Николаевич
Фалькевич Эдуард Семенович
Куцова Валентина Зиновьевна
Узлов Константин Иванович
Зубков Алексей Мих |
Реферат | |
Использование: электронная техника, для обработки полупроводниковых материалов. Сущность изобретения: полупроводниковый материал, монокристалл или пластину подвергают многоступенчатой обработке, предварительно установив, сколько скачкообразных изменений параметра данного материала и при каких температурах наблюдается в процессе его нагревания до температуры плавления. Многоступенчатую термообработку осуществляют с выдержкой при температурах соответствующих скачков. При этих же температурах проводят выдержку материала при его последующем охлаждении. В промежутках между выдержками материал нагревают или охлаждают со скоростью не выше 5oC/мин. 2 з.п. ф-лы, 5 ил., 2 табл.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента