|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ |  |
Номер публикации патента: 2109371 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | H01L021/322 H01L021/324 H01L021/20 | | Аналоги изобретения: | JP, заявка, 5329585, кл. H 01 L 21/76, 1978. US, патент, 4056414, кл. H 01 L 21/20, 1977. |
| Имя заявителя: | Валиев Камиль Ахметович | | Патентообладатели: | Казаков Владимир Ильич
Кальнов Владимир Александрович
Кравченко Лев Николаев |
Реферат | |
Изобретение относится к области изготовления интегральных схем. Сущность: предлагается способ изготовления как дискретных приборов, так и интегральных схем, формируемых в полупроводниковой подложке, которая затем утоняется с помощью химического травления. Равномерность травления обеспечивается за счет формирования с обратной стороны пластины геттерирующего слоя и последующего геттерирующего отжига, которые позволяют уменьшить и упорядочить концентрацию микродефектов в объеме пластины. Подготовка к сборочным операциям включает в себя создание планарной поверхности с обратной стороны. 5 з. п.ф-лы, 5 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента