Промышленная Сибирь Ярмарка Сибири Промышленность СФО Электронные торги НОУ-ХАУ Электронные магазины Карта сайта
 
Ника
Ника
 

Поиск патентов

Как искать?
Реферат
Название
Публикация
Регистрационный номер
Имя заявителя
Имя изобретателя
Имя патентообладателя

    





Оформить заказ и задать интересующие Вас вопросы Вы можете напрямую c 6-00 до 14-30 по московскому времени кроме сб, вс. whatsapp 8-950-950-9888

На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента

Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»


СПОСОБ ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН

Номер публикации патента: 2133997

Вид документа: C1 
Страна публикации: RU 
Рег. номер заявки: 97120171 
  Сделать заказПолучить полное описание патента

Редакция МПК: 
Основные коды МПК: H01L021/3063    
Аналоги изобретения: SU 809434 A, 28.02.81. JP 6086826 A, 16.05.85. SU 463174 A, 30.06.75. US 5681448 A, 28.10.97. WO 9009469 A1, 23.08.90. JP 5218072 A, 19.05.77. 

Имя заявителя: Научно-исследовательский институт измерительных систем 
Изобретатели: Скупов В.Д.
Смолин В.К. 
Патентообладатели: Научно-исследовательский институт измерительных систем 

Реферат


Использование: электронная техника. Сущность изобретения: в способе электрохимической обработки полупроводниковых пластин, включающем закрепление пластины на аноде, размещение анода в электрохимической ячейке параллельно свободной поверхности электролита, осевое вращение цилиндрического электрода-катода дополнительно ось вращения перемещают в плоскости, параллельной поверхности обрабатываемой пластины, при этом поверхность цилиндрического электрода выполняют в виде чередующихся участков проводника и диэлектрика. Участки диэлектрика выполняют в виде выступов на поверхности цилиндра и располагают вдоль винтовой линии, при этом участки диэлектрика в процессе перемещения электрода контактируют с поверхностью пластины и упруго деформируют поверхность пластины. Технический результат: повышение однородности структуры и свойств пористого кремния и, как следствие, увеличение выхода годных. 4 з.п.ф-лы, 1 табл.


Дирекция сайта "Промышленная Сибирь"
Россия, г.Омск, ул.Учебная, 199-Б, к.408А
Сайт открыт 01.11.2000
© 2000-2018 Промышленная Сибирь
Разработка дизайна сайта:
Дизайн-студия "RayStudio"