На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК МНОГОКОМПОНЕНТНЫХ ТВЕРДЫХ РАСТВОРОВ | |
Номер публикации патента: 2156518 | |
Редакция МПК: | 7 | Основные коды МПК: | H01L021/205 | Аналоги изобретения: | RU 2065223 C1, 10.08.1996. SU 1825431 A3, 30.06.1993. RU 2032960 C1, 10.04.1995. RU 2046161 C1, 20.10.1995. US 4648917 A, 10.03.1987. US 4063974 A, 20.12.1977. WO 91/14280 A1, 19.09.1991. |
Имя заявителя: | Государственное унитарное предприятие научно-производственное объединение "ОРИОН" | Изобретатели: | Васильков В.Н. Дирочка А.И. Касаткин И.Л. Кравченко Н.В. Моисеенко А.Г. Чишко В.Ф. | Патентообладатели: | Государственное унитарное предприятие научно-производственное объединение "ОРИОН" |
Реферат | |
Использование: технология получения полупроводниковых тонких пленок многокомпонентных твердых растворов контролируемого состава, в том числе эпитаксиальных, из паровой фазы на различных подложках. Сущность изобретения: способ получения тонких пленок многокомпонентных твердых растворов включает осаждение пленки на нагретую подложку из паров шихты.
|