На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
СПОСОБ КОНТРОЛЯ ДЕФЕКТНОСТИ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПЛЕНОК | ![](Images/non.gif) |
Номер публикации патента: 2167470 | ![](Images/empty.gif) |
Редакция МПК: | 7 | Основные коды МПК: | H01L021/66 | Аналоги изобретения: | RU 2033660 C1, 20.04.1995. RU 2095885 C1, 10.11.1997. RU 2127927 C1, 20.03.1999. JP 04129241 A, 30.04.1992. JP 54140869 A, 01.11.1979. GB 2095398 A, 29.09.1982. US 4448527 A, 15.05.1984. |
Имя заявителя: | Научно-исследовательский институт измерительных систем | Изобретатели: | Скупов В.Д. Смолин В.К. | Патентообладатели: | Научно-исследовательский институт измерительных систем |
Реферат | ![](Images/empty.gif) |
Использование: в неразрушающих способах диагностики структурного совершенства диэлектрических слоев, осажденных на полупроводниковую подложку. Сущность изобретения: в способе контроля дефектности диэлектрических пленок, включающем эллипсометрические измерения показателя преломления пленки, при измерении пленку упруго деформируют, создают в ней растягивающие напряжения и по изменению показателя преломления при деформации судят о дефектности пленки.
|