На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
СПОСОБ ОБРАБОТКИ СТРУКТУР "КРЕМНИЙ НА САПФИРЕ" | |
Номер публикации патента: 2185685 | |
Редакция МПК: | 7 | Основные коды МПК: | H01L021/784 | Аналоги изобретения: | RU 2128382 С1, 27.03.1995. RU 2071145 С1, 27.12.1996. RU 2132583 С1, 27.06.1999. ЕР 0676794 А1, 11.01.1995. US 4177084 А, 04.12.1979. WO 0001005 А1, 06.01.2000. |
Имя заявителя: | Научно-исследовательский институт измерительных систем | Изобретатели: | Скупов В.Д. Смолин В.К. | Патентообладатели: | Научно-исследовательский институт измерительных систем |
Реферат | |
Изобретение относится к производству полупроводниковых приборов и может быть использовано при создании структур "кремний на сапфире", предназначенных для изготовления дискретных приборов и интегральных схем, стойких к воздействию дестабилизирующих факторов, например к радиации. Сущность изобретения: в способе обработки структур "кремний на сапфире", включающем нанесение пленки кремния на сапфировую подложку и циклическую низкотемпературную обработку структур в жидком азоте, чередующуюся через 30-
|