

	Главная Патентный отдел Технологии Справочник ГРНТИ Прием Наши координаты Обратная связь

Поиск патентов

Оформить заказ и задать интересующие Вас вопросы Вы можете напрямую c 6-00 до 14-30 по московскому времени кроме сб, вс. whatsapp 8-950-950-9888

Патентный отдел

На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента

Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»

Вернуться к списку

СПОСОБ ИЗОЛЯЦИИ КАНАВКАМИ ДЛЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВОГО УСТРОЙСТВА

Номер публикации патента: 2187174

Вид документа:	C1
Страна публикации:	RU
Рег. номер заявки:	97121905/28

Получить полное описание патента

Редакция МПК:	7
Основные коды МПК:	H01L021/762
Аналоги изобретения:	GB 2306050 А, 23.04.1997. WO 95/25343 A1, 21.09.1995. DE 19507279 A1, 15.05.1996. УЭББЕР С. Эффективные методы изготовления СБИС повышенной радиационной стойкости. - Электроника, 1987, т.60, № 24, с. 48-52.

Имя заявителя:	САМСУНГ ЭЛЕКТРОНИКС КО., ЛТД. (KR)
Изобретатели:	ПАРК Мун-хан (KR) ХОНГ Суг-хун (KR) СИН Ю-гюн (KR)
Патентообладатели:	САМСУНГ ЭЛЕКТРОНИКС КО. ЛТД. (KR)

Реферат

Изобретение относится к полупроводниковой технике. Предложен способ изоляции канавками с использованием двух типов оксидных пленок. Канавки в полупроводниковой подложке заполняют многослойной пленкой из двух оксидных пленок, нанесенных последовательно и имеющих различные характеристики напряжения. Производят уплотнение композитной оксидной пленки, заполняющей канавки.

Вернуться к списку

Дирекция сайта "Промышленная Сибирь"
Россия, г.Омск, ул.Учебная, 199-Б, к.408А
Сайт открыт 01.11.2000
© 2000-2018 Промышленная Сибирь

Разработка дизайна сайта:
Дизайн-студия "RayStudio"