На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
ДЕТАЛЬ ИЗ КВАРЦЕВОГО СТЕКЛА ДЛЯ ПРИМЕНЕНИЯ ПРИ ИЗГОТОВЛЕНИИ ПОЛУПРОВОДНИКОВ | |
Номер публикации патента: 2195045 | |
Редакция МПК: | 7 | Основные коды МПК: | H01L021/00 | Аналоги изобретения: | JP 4512515 А, 26.05.1992. US 5807416 А, 15.09.1998. US 5562774 А, 08.10.1996. RU 2084987 С1, 20.07.1997. ЕР 0704891 А, 03.04.1996. |
Имя заявителя: | ХЕРАЕУС КВАРЦГЛАС ГМБХ (DE),ХЕРАЕУС КВАРТЦ С.А.С. (FR) | Изобретатели: | ХЕЛЛЬМАНН Дитмар (DE) ЛЕБРЭН Жерар (FR) БЕККЕР Йорг (DE) | Патентообладатели: | ХЕРАЕУС КВАРЦГЛАС ГМБХ (DE) ХЕРАЕУС КВАРТЦ С.А.С. (FR) |
Реферат | |
Использование: в технологии изготовления полупроводниковых приборов. Технический результат изобретения заключается в обеспечении возможности создания детали из кварцевого стекла с шероховатой поверхностью, особенно пригодной для сцепления с осажденными из газовой фазы слоями, с длительным сроком службы.
|