|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ УМЕНЬШЕНИЯ КОНЦЕНТРАЦИИ НАПРЯЖЕНИЙ ПРИ ИЗГОТОВЛЕНИИ ЭЛЕМЕНТОВ МИКРОМЕХАНИЧЕСКИХ УСТРОЙСТВ |  |
Номер публикации патента: 2202137 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01L021/308 | | Аналоги изобретения: | ВАВИЛОВ В.Д. и др. Интегральные датчики давления. Конструкция и технология. - М.: Изд-во МАИ, 2001, стр. 29. RU 2059321 С1, 27.04.1996. SU 797454 А1, 15.01.1994. US 5389198 А, 14.02.1995. |
| Имя заявителя: | Открытое акционерное общество Арзамасское научно-производственное предприятие "Темп-Авиа" | | Изобретатели: | Былинкин С.Ф.
Миронов С.Г. | | Патентообладатели: | Открытое акционерное общество Арзамасское научно-производственное предприятие "Темп-Авиа" |
Реферат | |
Использование: в области приборостроения для изготовления элементов, используемых в конструкциях микромеханических устройств, которые получают методами микроэлектроники. Сущность изобретения: при фотолитографическом нанесении рисунка на исходный кристалл во внутренних углах элементов выполняют топологические припуски, из которых после травления получаются компенсаторы, снижающие напряжения во внутренних углах конструкции.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента