На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ КВАЗИБИКРИСТАЛЛИЧЕСКИХ СТРУКТУР ОКСИДА ЦИНКА | |
Номер публикации патента: 2202138 | |
Редакция МПК: | 7 | Основные коды МПК: | H01L021/363 | Аналоги изобретения: | US 5366953, 22.11.1994. RU 2139596 C1, 10.10.1999. RU 2105390 C1, 20.02.1998. RU 2107358 C1, 20.03.1998. |
Имя заявителя: | Институт физики Дагестанского научного центра РАН | Изобретатели: | Атаев Б.М. Камилов И.К. Багамадова А.М. Мамедов В.В. Омаев А.К. Махмудов С.Ш. | Патентообладатели: | Институт физики Дагестанского научного центра РАН |
Реферат | |
Использование: в электронном материаловедении. Сущность: методом магнетронного распыления с использованием маски наносят тонкий текстурированный слой базисной ориентации на часть монокристаллической подложки Al2O3, температура которой не превышает 500 К. Выращивают на всей поверхности подложки методом химических транспортных реакций эпитаксиальные слои, обеспечивающие формирование выраженного структурного перехода (0001) ZnO и ZnO.
|