На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МДП - ТРАНЗИСТОРОВ | |
Номер публикации патента: 2206142 | |
Редакция МПК: | 7 | Основные коды МПК: | H01L021/336 | Аналоги изобретения: | SU 1419418 А1, 09.06.1995. SU 1176777 А1, 10.05.1995. RU 2017265 С1, 30.07.1994. SU 1762688 А1, 20.08.1995. US 6127700 А, 03.10.2000. US 4392893 А, 12.07.1983. |
Имя заявителя: | Андреев Владимир Викторович,Столяров Максим Александрович | Изобретатели: | Андреев В.В. Барышев В.Г. Бондаренко Г.Г. Масловский В.М. Масловский М.В. Столяров М.А. Ткаченко А.Л. Улунц Г.А. | Патентообладатели: | Андреев Владимир Викторович Столяров Максим Александрович |
Реферат | |
Использование: в полупроводниковой технологии для изготовления дискретных МДП-транзисторов и интегральных микросхем. Технический результат изобретения - упрощение способа и повышение точности подгонки порогового напряжения МДП-транзистора. Сущность изобретения: способ включает операции формирования на кремниевой пластине областей истока, стока и слоя подзатворного диэлектрика с электронными ловушками в объеме, формирования металлической разводки, определения величины подгонки порогового напряжени
|