|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ СВЧ |  |
Номер публикации патента: 2206145 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01L021/84 | | Аналоги изобретения: | RU 2065641 С1, 20.08.1996. RU 2072589 С1, 27.01.1997. Малорецкий Л.Г. Микроминиатюризация элементов и устройства СВЧ. - М.: Советское Радио, 1976, с.82-99. DE 3708235 А, 22.09.1988. ЕР 0665560 А2, 02.08.1995. |
| Имя заявителя: | Федеральное государственное унитарное предприятие "Научно-производственное предприятие "Исток" | | Изобретатели: | Балыко А.К.
Королев А.Н.
Ляпин Л.В.
Морозов В.С.
Мушкаренко Ю.Н.
Низамеева А.Г.
Попова Н.И. | | Патентообладатели: | Федеральное государственное унитарное предприятие "Научно-производственное предприятие "Исток" |
Реферат | |
Использование: в электронной технике при изготовлении интегральных схем СВЧ. Техническим результатом изобретения является упрощение технологического процесса изготовления интегральных схем, снижение трудоемкости и осуществление возможности изготовления мощных интегральных схем при сохранении высокой разрешающей способности при изготовлении топологического рисунка.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента