|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МИКРОМЕХАНИЧЕСКОГО ИНЕРЦИАЛЬНОГО ЧУВСТВИТЕЛЬНОГО ЭЛЕМЕНТА ЕМКОСТНОГО ТИПА |  |
Номер публикации патента: 2207658 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01L021/02 H01L029/84 | | Аналоги изобретения: | RU 2114489 С1, 27.06.1998. SU 1671066 А1, 27.12.1995. US 5392651 А, 28.02.1995. GB 2212274 А, 19.07.1989. |
| Имя заявителя: | ФГУП "НИИ физических измерений" | | Изобретатели: | Мокров Е.А.
Зеленцов Ю.А.
Козин С.А.
Акимов И.Г.
Федулов А.В.
Чистякова Т.Г.
Ануфриев Ю.С. | | Патентообладатели: | ФГУП "НИИ физических измерений" |
Реферат | |
Изобретение относится к области измерительной техники и может быть использовано при изготовлении малогабаритных микромеханических датчиков: акселерометров, гироскопов и др. Технический результат изобретения - повышение чувствительности, упрощение сборки узла чувствительного элемента совместно с его герметизацией и обеспечение контроля герметичности узла при сборке и эксплуатации.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента