|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МОЩНОГО СИЛЬНОТОЧНОГО МОП ТРАНЗИСТОРА |  |
Номер публикации патента: 2209490 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01L021/336 | | Аналоги изобретения: | US 5298442 А, 29.03.1994. US 6291298 В1, 18.09.2001. US 2001026961 А1, 04.10.2001. US 5473176 А, 05.12.1995. RU 2024107 А, 30.11.1994. |
| Имя заявителя: | Красников Геннадий Яковлевич,Нечипоренко Александр Петрович,Орлов Олег Михайлович | | Изобретатели: | Красников Г.Я.
Нечипоренко А.П.
Орлов О.М. | | Патентообладатели: | Красников Геннадий Яковлевич
Нечипоренко Александр Петрович
Орлов Олег Михайлович |
Реферат | |
Использование: в микроэлектронике, при изготовлении интегральных схем и полупроводниковых приборов. Сущность изобретения: способ изготовления мощного сильноточного МОП транзистора включает операции формирования областей стока 1-го типа проводимости МОП транзистора, маскирующего диэлектрика на поверхности пластины, углублений для выделения на пластине монокристаллических участков, тонкого подзатворного диэлектрика на поверхности открытых областей кремния, заполнение углублений поликремнием, являющ
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента