|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ФОРМИРОВАНИЯ ШЕРОХОВАТОЙ ПОВЕРХНОСТИ КРЕМНИЕВЫХ ПОДЛОЖЕК И ЭЛЕКТРОЛИТ ДЛЯ АНОДНОГО ТРАВЛЕНИЯ КРЕМНИЕВЫХ ПОДЛОЖЕК |  |
Номер публикации патента: 2217840 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01L021/3063 | | Аналоги изобретения: | RU 2194805 С2, 20.12.2002. SU 1459542 А1, 10,06.2000. GB 2373367 А, 18.09.2002. DE 3324232 А1, 17.01.1985. ЕР 1220307 А1, 03.07.2002. |
| Имя заявителя: | Алимпиев Сергей Сергеевич (RU),Никифоров Сергей Михайлович (RU),Гречников Александр Анатольевич (RU),Караванский Владимир Андреевич (RU),САННЕР Жан Арне (US) | | Изобретатели: | Алимпиев С.С. (RU)
Никифоров С.М. (RU)
Гречников А.А. (RU)
Караванский В.А. (RU)
САННЕР Жан Арне (US) | | Патентообладатели: | Алимпиев Сергей Сергеевич (RU)
Никифоров Сергей Михайлович (RU)
Гречников Александр Анатольевич (RU)
Караванский Владимир Андреевич (RU)
САННЕР Жан Арне (US) |
Реферат | |
Использование: для создания кремниевых подложек с поверхностями, применяемыми в качестве эмиттеров ионов в аналитических приборах, в частности масс-спектрометрах. Сущность изобретения: в способе формирования шероховатой поверхности кремниевых подложек путем анодного травления в электролите, содержащем водный раствор фтористоводородной кислоты и спирт, травление ведут в электролите при плотности тока не более 4 мА/см2, дополнительно содержащем I2 или йодсодержащее соединение, диссоциирующее в элек
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента