|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ НА ПЛАСТИНЫ |  |
Номер публикации патента: 2217841 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01L021/312 | | Аналоги изобретения: | SU 1260038 А, 30.09.1986. SU 1242261 A1, 07.07.1986. SU 1134241 А, 15.01.1985. RU 2093921 C1, 20.10.1997. US 6174651 В1, 16.01.2001. |
| Имя заявителя: | Государственное образовательное учреждение Воронежская государственная технологическая академия | | Изобретатели: | Абрамов Г.В.
Котляров М.М.
Попов Г.В. | | Патентообладатели: | Государственное образовательное учреждение Воронежская государственная технологическая академия |
Реферат | |
Использование: при изготовлении полупроводниковых приборов, а также в машиностроении. Техническим результатом изобретения является снижение количества загрязняющих частиц, привносимых на пластину из воздуха. Сущность изобретения: устройство для нанесения покрытий на пластины содержит приводной столик с механизмом крепления пластины.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента